为什么说ADI在工业领域有优势(3) - ADI的MEMS产品线

ADI的MEMS产品线明星产品赏析

下文转载自一位MEMS从业人员的博客，值得一看。以下是博文正文：

 

每一个行业的产生都有一群开拓者，一群对这个产业产生了巨大影响力的人物，一群值得我们记忆终身的先驱。

 

鲍敏航

 

做mems的人很少有不知道鲍老师的，作为在中国最早开展MEMS研究工作的人，是这个领域真正的开拓者。事实上作为年轻的一代，大部分人并不了解鲍老师在mems领域的科研成果，鲍老师在硅基mems领域做了很多基础的研究工作，包括器件、工艺、以及模拟。而鲍老师被年轻一代所熟悉却是因为他的几个牛弟子，和鲍老师对挑选徒弟的严格程度。鲍老师不是院士，鲍老师的学生很少，鲍老师做了一辈子的科研工作，但鲍老师在国内率先建立了一个学科，培养了几个具有行业影响力的学生，作为前辈，无论如何都必须为我们的记住。不过真的很遗憾，复旦大学并没有好好利用鲍老师在mems领域的影响力，并没有把mems学科很好的开展下去，也许复旦微电子在设计领域的强大已经足以让他们满足了吧。值得庆幸的是，鲍老师不会被我们遗忘，他的徒子徒孙们已经是这个行业的中坚力量，渗透到了mems的血液当中。

 

路甬祥

 

他是一个身份很复杂的人，有人说的他是科学家，有人说他是技术官僚，有人说他是政客，而对于mems来说，他是一个给了我们机会的人。九十年代中，mems在中国刚刚生根落地的时候，整好是路校长从浙大校长编程中科院的路院长的时候，百人计划在科学院开始如火如荼的开展，全世界的挖墙角。王跃林教授就是通过百人计划从浙大跳槽到了科学院，然后开始了冶金所MEMS实验室的大建设，MEMS在中国的一大派系开始初现雏形。很难想象王教授如果一直呆在浙大信电的穷山沟里，是否还会有今天国内mems这么重要的一支力量。

 

mems是面向应用的科学，是需要砸钱买设备做实验的，后来科学院又逐渐搞了很多诸如创新基金，所长基金等等的计划，mems在当中受益匪浅，我们可以看到几乎每个相关的科学院研究所都有mems的方向，颇有百花齐放的架势。要不是路院长会搞钱，各个所哪有余钱去搞那么多偏门的mems项目，哪有钱建那么多实验室，估计也就是像高校里面那样，搞搞计算机仿真而已了。

 

路院长对mems的另一项功德就算是新七所了，如果没有新七所，就不会有苏州纳米所，就不会有加工平台，就不会有我们盼望已久的全开放实验室，就不会有那么多的企事业单位在那里进行研发。全中国有那么多的高校与地方政府一起进行科技圈地运动，除了满足了高考扩招的教育需求，通过变相降低教育质量来滥竽充，给地方政府脸上贴金外，没有起到多大作用。真正推动地方科技实力壮大，引发产业升级的合办院所，数科学院的新七所最为出色，而其中苏州纳米所在mems领域让广大稚嫩的初创企业度过研发期难关，同时让更多希望投入到mems事业当中的人找到了可以实现自己梦想的地方。

虽说院长同志不是memser，但是他对新兴学科的支持，不应该被我们这些memser忘记。

 

李志坚

 

李先生一直是搞半导体的，清华微所不仅在微电子领域是一个颇大的山头，李先生对于mems的发展也是是颇有贡献的。清华微所是国内做mems比较早的单位，不仅仅培养了很多牛逼的弟子，而且早起在国内还是做出很多不错的成果的。李先生如果不支持，我们很难想象清华微所会有那么好的基础。可惜的是，在逐渐产业话的今天，清华微所在mems方向上逐渐式微了，而在清华内部，慢慢的mems的牛耳被精仪系拿走了。

李先生前段时间刚刚过世，在此顺表敬意。

 

王阳元

 

王先生涉猎的范围很广，在各个方面能量都很大，对中国的半导体产业进步有不可磨灭的贡献。王先生领导的北大微电子所是国内做早建立完整mems线的单位，最早实现成套mems器件工艺的开发，最早发布了一套稳定的mems加工工艺流程。同时北大的mems线上也摸爬滚打出来相当数量的具有一定实践经验的学生。北大青鸟作为北大微电子所创办的企业，也是国内最早的mems创业企业之一。比较遗憾的是，北大的mems线在经历了初期的全面开放后，逐渐变的保守起来，而学生们慢慢的也更难作为研究者参与到mems线的实际运营中。真的很希望北大能够给这个领域贡献更多的力量。

 

童勤义

 

童老师是一位比较纯粹的科学家，甚至纯粹的有点默默无名，反而是童老师的学生黄庆安老师在mems界大名鼎鼎。童老师一直是搞mems的基础科学技术研究的，尤其是键合技术，出版过专门的著述，在国际上有相当高的影响力。另外，童老师还是美国杜克大学的教授，参与创立了美国Ziptronix公司，这个公司是现在炙手可热的一个3D技术方案公司。黄庆安老师继承了童老师在东南大学的mems方向，成为国内顶级的mems实验室之一。我个人认为，童老师是老一辈科学家中，在mems的科学领域做出直接贡献最突出的一个人。虽然童老师不是院士，但是在mems领域，没有另外一个文革前大学毕业的中国人，拥有童老师一样的学术水平。在老外面前我们谈起mems技术发展历史的时候，因为有童老师的存在，我们还不用太自卑。

童先生前段时间也去世了，深表敬意。

 

丁衡高

 

年轻的memser，或者圈子外的memser，肯定不了解丁先生的名字意味着什么。而我认为，在mems领域，丁先生的贡献比起以上诸位来说，有过之而无不及。从我的称呼中大家显然知道丁先生是院士，但说实话我也不知道在科学上丁先生的建树如何，但这并不妨碍我尊敬他。丁先生任职于xx部门，肩头扛的星星上是挂着麦穗的，据传闻丁先生是聂帅的女婿。作为上位者，能够保证守成有余，我等屁民就很心满意足了，而如果有远见，那就是我等屁民的幸福了。幸运的是，memser碰上的恰恰是丁先生这位有远见的上位者。

 

海湾战争的一声炮响打醒了PLA，老革命终于明白不对称的现代战争是怎么一回事儿，对MEMS来说，这是再幸运不过的事儿了。丁先生能够明白mems对于国防有多么重要，丁先生也能够明白GLA变成信息化军队的手段除了计算机还有MEMS，这就够了。memser有了银子做实验还能不够吗？所以说，有了丁先生，memser是幸福的。有钱就有设备，有钱就有人才，有钱就有未来。神枪手也是要用枪子儿喂出来的，培养一个合格的memser太花钱了，比ICer花钱多了，IC设计的码农们要一台计算机就够了，咱memser做一片片子够买好些台电脑了。所以我们要感谢丁先生，花那么多钱给我们留了那么多种子，让我们还不算太落后，让我们还有时间追。

 

对mems有贡献的人很多，这篇我们只提到了老一辈的一些人，那些真正可以称之为先驱的人。下次，我们聊聊中生代的事情，预告一下，那些人有王跃林，张大成，黄庆安，赵阳，龚里……

 

注：学术圈子里有很多人喜欢把院士们称之为"先生"，不论男女，以表达对院士的尊敬，所以我也就跟风了。

 

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