汽车电子始终是MEMS的使用大户，虽然IHS iSuppli公司2011年上半年的MEMS研究报告表明有几个因素导致汽车MEMS增长放慢，包括日本地震迫使汽车厂商减产，但是下半年将恢复其中的20%。这说明2011年下半年汽车MEMS传感器的需求会有所增长。

 

MEMS在汽车中的一个重要用途是电子稳定性控制ESC（Electronic Stability Control），它是一种辅助驾驶者控制车辆的主动安全技术，能自动对车身的不稳定性进行矫正，有助于防止事故的发生。比如基于MEMS的陀螺仪可以用来判断驾驶者行驶方向的意图，在车辆开始偏离道路时，汽车控制系统启动干预措施，对一个或多个车轮实施制动力，减少发动机气门的干预，将车辆引导回正确路线。 正是基于这些特性，各国政府都积极制定政策要求汽车采用电子稳定控制系统。

 

ADI公司的ADXRS800就是专门针对汽车ESC系统设计的最新 MEMS陀螺仪，千片售价50美金（难怪高级车都那么贵！）它采用差分四梁架构专利技术，能够在较宽频率范围内提供高抗振动和抗冲击性能，这也是在汽车级应用中必备的要素，否则来点斜风细雨汽车马上跑偏就事大了，虽然通常在系统设计时会采取抑制措施，但是芯片级的高可靠输出才是王道。

 

ADXRS800的其他技术参数数据手册有详细描述，比如对线性加速度的灵敏度仅为 0.03°/s/g，振动校正特性仅为0.0002°/s/g2，+105摄氏度 时的噪声速率密度为0.02°/s/√Hz，整个工作温度范围内和产品寿命期间的零点失调偏差最大值为3°/s。

 

ADI公司基于ADXRS800的评估系统可以用来完成多项关于陀螺仪的常见测试：

 

1. 噪声和根Allan方差测试：

 

时域中通常采用Allan（阿伦）方差作为频率稳定度的表征量，即时域频率稳定度，用信号频率v0 的相对频偏在一定的采样时间τ内的平均值的方差来表示。对ADXR800来讲单位通常以小时计，即x度/小时，表征了陀螺仪的零漂。当输入角速度为零时，它是陀螺仪输出量围绕其均值的离散程度。

 

同样，均方根RMS噪声测试通过对一些特定点采样来计算标准偏差，这些点以500MHz的数据率按照近似于1 sigma的峰峰噪声值来选取。取样点越多越好，通常应该超过16000个。

 

2. 灵敏度

 

ADXRS800的角速度检测范围可达±300°/sec，灵敏度为 80 ± 3% LSBs/°/sec。启动ADXRS800评估系统软件后软件首先需要执行校正程序，此后评估板的角度变化就会被记录并最终显示在屏幕上。

 

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