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ADI磁隔离中的变压器是怎么制成的

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今天晚上拜读了《隔离技术上的模拟人生》,讲的是ADI的院士专家陈宝兴博士关于隔离变压器的访谈录。这里抛出了芯片级变压器的概念。之前有点不太理解ADI的磁耦隔离具体实现方式,仅仅是看过,但是没有用过,看了这篇文章后,对其隔离变压器有了一点理解,但是实际上,我也做过隔离电源,我也明白要是把一个变压器藏进去一个IC的封装体里是有多么的不容易。尽管磁耦隔离传送的功率很小,但是其变压器要小的多,那么芯片级变压器是怎么制成的呢?我目前用的基本上是人手工绕制的。但是,资料中也仅仅说是icouper 采用晶圆级工艺制造,好处就不说了,什么线性、可靠性都好很多,而且更省电。但是晶圆级变压器是怎么制成的呢?应该不是手工吧,或者是更先进的工艺绕指的?圈数少直径达的倒还真是可以用绕线机绕制,但是这么小的,就应该不是了,或许是 用的平面变压器的类似工艺,把线直接layout在晶圆上,这样卡上磁芯就可以了,我猜想是最后一种