在准静态电容测量[1]中，我们通过测量电流和电荷来计算电容值。这种“斜率”方法使用简单，但是它的频率范围有限（1 ～10Hz），因而只能用于一些特殊情况下。

SMU1-力常数  SMU2-测量

图3. 准静态C-V“斜率”测量方法

斜率测量方法只需要使用两台数字源表（SMU）[2]。通过第一台SMU将一个恒定电流加载到待测器件（DUT）的一个节点上。这台SMU还负责测量该节点上的电压和时间。同时，第二台SMU测量DUT另一个节点输出的电流。然后可以利用下列公式计算出电容：

I = C dV/dt or C = I / (dV/dt)

这种方法通常可用于测量大小为100～400pF斜率为0.1～1V/S的电容。

利用射频技术[3]测量电容

传输线的电容测量通常采用射频技术。其中利用矢量网络分析仪测量散射参数（S参数），即入射波的反射和传输系数。