Opsens光纤温度传感器在半导体领域的解决方案
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发表于 4/15/2011 5:50:49 PM
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Opsens团队与半导体研究人员一起为半导体关键应用提供坚固和精确的OEM温度监控方案。Opsens基于砷化镓（GaAs）技术的光纤温度传感器是沉积室或射频等离子刻蚀中半导体晶圆制造过程表面温度测量的理想选择，提供高精度和可重复性。我们坚固的传感器对射频和电磁干扰完全免疫，不受光纤弯曲，光纤移动和光学连接点的影响，因此可以给晶片提供高精度和高可靠性原位温度测量。与热敏电阻和热电偶不同，光纤传感器不受很多严苛环境的影响。
应用：晶片温度监控，静电夹头设备温度监控，射频等离子刻蚀处理室的温度监控。
Opsens微小的GaAs感应晶体固定在光纤顶部，适合顶部测量应用。OTG-A与Opsens所有的SCBG信号解调器兼容，具有光纤传感器的固有优势。在很多不利条件下，如高电磁，射频和高电压，OTG-A提供史无前例的重复性和可靠性。OTG-A标准测温范围是-40°C~ 250°C， 依据客户要求可高达350°C。 OTG-P光纤温度传感器包含一个不锈钢套管（或陶瓷套管），在很多不利的操作环境下得到最大限度保护。
欧普申光电科技有限公司（OPT）
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