下一代纳米级IC卓越的性价比测量解决方案(二)
前面一篇文章我们介绍了接触级别膜片晶体管探测的原理，接下来我们会主要介绍探测的实施方案。探测的实施方案一般来说，KZ100探测仪可以配备4个探针，这些探针[1]都是独立的，可以在X、Y、Z方向线性操作，精度在5nm以下。为了研究目的，在高分辨率扫描电子
发表于 1/6/2012 4:48:15 PM
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