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KZ100探测仪中的“科普彗星”--吉时利4200半导体特性分析系统

吉时利4200半导体特性分析系统用于偏置探针以及采集集成电路器件漏电流和漏源电压(IDVDS)数据。该系统配备4个4200-SMU[1](源-测量单元)以及三轴线缆。在扫描模式下,将速度设置为快速,可以获得IDVDS曲线。源电流[2](IS)和漏电流(ID)的电流上限都被设置为500µ